西岡泰城,大木義路,西川宏之,服部健雄,岩崎裕,森田悦郎,吉見年弘,桜井真理,島貫康,下田高広,今井馨太郎,蒲原史朗,鳥海明,塩野登,塩澤順一,山部紀久夫,安田直樹,高木信一,谷口研二 シリコン熱酸化膜とその界面―基礎物性から超LSIへの応用まで シェアする